
半导体设备上市公司众多配资门户网官网,涵盖综合设备平台、细分设备龙头、测试/封装设备、材料与零部件等多个领域,以下是部分主要企业:-
综合设备平台:
- 北方华创(002371):覆盖刻蚀、薄膜沉积、氧化扩散、清洗设备,是国内唯一四大工艺设备全布局企业。14nm FinFET设备验证中,5nm刻蚀机研发中,碳化硅长晶设备取得突破。
- 中微公司(688012):专注于高端刻蚀设备,尤其是5nm介质刻蚀领域,同时生产MOCVD设备。是台积电5nm产线供应商,3D NAND刻蚀良率国际领先。
- 细分设备龙头:
- 盛美上海(688082):以湿法清洗设备为主配资门户网官网,拥有全球首创的SAPS技术,同时生产电镀设备。其14nm以下清洗设备进入长江存储,颗粒去除率达99.999%。
- 拓荆科技(688072):主要生产PECVD、ALD薄膜沉积设备,是国内唯一12英寸PECVD量产企业,7nm ALD设备实现突破。
- 华海清科(688120):专注于12英寸CMP抛光设备,国产替代率超70%,可支持3D IC封装。
- 芯源微(688037):产品包括前道涂胶显影设备(Track)和先进封装设备,能匹配ASML光刻机,覆盖28nm全流程。
- 测试/封装设备:
- 长川科技(300604):主要生产测试分选机、探针台,HBM测试系统市占率18%,3nm测试方案正在研发中。
- 金海通(603061):专注于高端测试分选机,车规芯片测试设备毛利率较高,达65%,客户包括德州仪器等。
- 材料与零部件:
- 至纯科技(603690):主要提供高纯工艺系统,包括气体处理和水处理等,纯度可达9N级,是中芯国际的核心供应商。
- 新莱应材(300260):生产半导体级高纯管件、阀门,打破海外垄断,客户包括北方华创等。
此外,微导纳米(688147)在5nm ALD设备领域为国产唯一;屹唐半导体主营干法去胶、干法刻蚀等设备配资门户网官网,在细分领域市场份额处于世界前列。
腾思控股提示:文章来自网络,不代表本站观点。